稀有气体制造的质量和效率
稀有气体之所以被称为“稀有气体”，是因为它们在空气中的含量非常少。
氙气十分稀少，地球大气中的百万分之一公斤中只有 90 克重。 商业上只能通过大型空气分离装置提取，每天需要生产超过1000 吨以上的氧气。
空气产品公司拥有高效的净化技术，可去除惰性极高的氩气和氮气等杂质。
我们在亚洲的高纯度工厂将稀有气体充填到钢瓶中，用在高价值行业领域。
氙气十分稀少，地球大气中的百万分之一公斤中只有 90 克重。 商业上只能通过大型空气分离装置提取，每天需要生产超过1000 吨以上的氧气。
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我们在亚洲的高纯度工厂将稀有气体充填到钢瓶中，用在高价值行业领域。
半导体和存储芯片制造用氙气
氙气在半导体制造工艺中用于微芯片的刻蚀和沉积，既可用作气氛和等离子体，又可用作刻蚀和沉积工艺的离子束源。 此工艺中使用的氙气必须非常纯净，因为任何杂质最终都会污染硅衬底或与工艺化学品（如氟）发生反应，从而产生有毒的高腐蚀性氟化氢（hf）。 作为电子行业气体产品和服务领域的全球领导者，空气产品公司的氙气产品由我们最先进的电子级工厂生产，以获得更好的质量保证。 可用于准分子激光，激光缓冲气体，dram 和 3d nand 及等离子显示面板的刻蚀。
综合气体供应
从大型空气分离装置到 6.0 级超高纯度气体，空气产品公司可以根据您的所有需求提供灵活的供气选择。
如有疑问请咨询我们的专家。
sds 库
我们的安全数据表 (sds) 库允许您以您选择的语言搜索并找到您需要的 sds。